Revoluția preciziei în fabricarea semiconductorilor: Când granitul întâlnește tehnologia micronică
1.1 Descoperiri neașteptate în știința materialelor
Conform raportului SEMI International Semiconductor Association din 2023, 63% dintre fabricile avansate din lume au început să utilizeze baze de granit în locul platformelor metalice tradiționale. Această piatră naturală, care provine din condensarea magmei în adâncul Pământului, rescrie istoria fabricării semiconductorilor datorită proprietăților sale fizice unice:
Avantajul inerției termice: coeficientul de dilatare termică al granitului de 4,5 × 10⁻⁶/℃ este doar 1/5 din cel al oțelului inoxidabil, iar stabilitatea dimensională de ±0,001 mm este menținută în timpul funcționării continue a mașinii de litografie.
Caracteristici de amortizare a vibrațiilor: coeficientul de frecare internă este de 15 ori mai mare decât cel al fontei, absorbind eficient microvibrațiile echipamentelor
Magnetizare zero: elimină complet eroarea magnetică în măsurarea cu laser
1.2 Călătoria metamorfozei de la mină la fabrică
Luând ca exemplu baza de producție inteligentă a ZHHIMG din Shandong, o bucată de granit brut trebuie să fie supusă:
Prelucrare de ultra-precizie: centru de prelucrare cu cinci axe pentru 200 de ore de frezare continuă, rugozitate a suprafeței de până la Ra0.008μm
Tratament de îmbătrânire artificială: 48 de ore de eliberare naturală a stresului în atelierul cu temperatură și umiditate constante, ceea ce îmbunătățește stabilitatea produsului cu 40%
În al doilea rând, rezolvați cele șase probleme de precizie ale fabricării semiconductorilor „soluție de piatră”
2.1 Schema de reducere a ratei de fragmentare a napolitanei
Demonstrație de caz: După ce o turnătorie de așchii din Germania adoptă platforma noastră de granit plutitor pe gaz:
| Diametrul plachetei | reducerea ratei de cipuri | îmbunătățirea planeității |
| 12 inci | 67% | ≤0,001 mm |
| 18 inci | 82% | ≤0,0005 mm |
2.2 Schema de descoperire a preciziei alinierii litografice
Sistem de compensare a temperaturii: senzorul ceramic încorporat monitorizează variabila de formă în timp real și ajustează automat înclinarea platformei
Date măsurate: sub o fluctuație de 28℃±5℃, precizia de încorporare fluctuează mai puțin de 0,12μm
Data publicării: 24 martie 2025