În domeniile producției de precizie și cercetării științifice, planeitatea platformelor de precizie din granit este un indicator cheie pentru asigurarea preciziei echipamentelor. Următoarea este o introducere detaliată a mai multor metode de detectare comune și a procedurilor lor de operare.
I. Metoda de detectare cu interferometru laser
Interferometrul laser este instrumentul preferat pentru detectarea planeității de înaltă precizie. Luați ca exemplu interferometrul laser ZYGO GPI XP, a cărui rezoluție poate ajunge la 0,1 nm. Atunci când efectuați detectarea, aliniați mai întâi sursa de lumină a interferometrului cu platforma și împărțiți suprafața platformei în zone de grilă de 50 mm × 50 mm. Ulterior, datele franjelor de interferență au fost colectate punct cu punct, iar datele au fost ajustate și analizate folosind polinomul Zernike pentru a obține eroarea de planeitate. Această metodă este aplicabilă platformelor de înaltă precizie și poate detecta erori de planeitate de ≤0,5 μm/m². Este utilizată în mod obișnuit în detectarea mașinilor de fotolitografie și a platformelor de măsurare tricoordonate de înaltă performanță.
Ii. Metoda nivelelor electronice
Detectarea nivelelor electronice cu matrice este simplu de utilizat și extrem de eficientă. Nivela electronică TESA A2 (cu o rezoluție de 0,01 μm/m) a fost selectată și aranjată într-o matrice de 9×9 de-a lungul axei X/Y a platformei. Prin colectarea sincronă a datelor de înclinare ale fiecărei nivele și apoi utilizarea metodei celor mai mici pătrate pentru calcul, valoarea planeității poate fi obținută cu precizie. Această metodă poate identifica eficient condițiile locale de concavitate și convexitate ale platformei. De exemplu, poate fi detectată și o fluctuație de 0,2 μm într-un interval de 50 mm, ceea ce este potrivit pentru detectarea rapidă în producția de masă.
Iii. Metoda cristalelor plate optice
Metoda cristalelor optic plate este potrivită pentru detectarea platformelor cu suprafețe mici. Atașați cristalul optic plat strâns pe suprafața care urmează să fie testată pe platformă și observați franjurile de interferență formate între ele sub iluminarea unei surse de lumină monocromatică (cum ar fi o lampă cu sodiu). Dacă dungile sunt dungi drepte paralele, aceasta indică o planeitate bună. Dacă apar dungi curbate, calculați eroarea de planeitate pe baza gradului de curbură a benzii. Fiecare bandă curbată reprezintă o diferență de înălțime de 0,316 μm, iar datele de planeitate pot fi obținute printr-o simplă conversie.
Patru. Metoda de inspecție a mașinii de măsurare cu trei coordonate
Mașina de măsurat în trei coordonate poate realiza măsurători de înaltă precizie în spațiul tridimensional. Plasați platforma de granit pe masa de lucru a mașinii de măsurat și utilizați sonda pentru a colecta uniform date din mai multe puncte de măsurare de pe suprafața platformei. Sistemul mașinii de măsurat procesează și analizează aceste date pentru a genera un raport de planeitate a platformei. Această metodă nu numai că poate detecta planeitatea, dar poate obține simultan și alți parametri geometrici ai platformei și este potrivită pentru detectarea completă a platformelor mari de granit.
Stăpânirea acestor metode de detectare vă poate ajuta să evaluați cu precizie planeitatea platformei de precizie din granit și să oferiți o garanție fiabilă pentru funcționarea stabilă a echipamentelor de precizie.
Data publicării: 29 mai 2025