În atelierul de fabricație a semiconductorilor, cerințele procesului de fabricație a cipurilor privind condițiile de mediu și precizia echipamentelor sunt extreme, iar orice mică abatere poate duce la o scădere semnificativă a randamentului cipului. Platforma de mișcare gantry de precizie XYZT se bazează pe componente din granit pentru a colabora cu alte părți ale platformei pentru a construi o fundație solidă pentru atingerea preciziei la scară nanometrică.
Proprietăți excelente de blocare a vibrațiilor
În atelierul de fabricație a semiconductorilor, funcționarea echipamentelor periferice și deplasarea personalului în jurul acestora pot cauza vibrații. Structura internă a componentelor din granit este densă și uniformă, cu caracteristici naturale de amortizare ridicată, ca o „barieră” eficientă împotriva vibrațiilor. Atunci când vibrațiile externe sunt transmise platformei XYZT, componenta din granit poate atenua eficient peste 80% din energia vibrațiilor și poate reduce interferența vibrațiilor asupra preciziei mișcării platformei. În același timp, platforma este echipată cu un sistem de ghidare cu flotor de aer de înaltă precizie, care funcționează împreună cu componentele din granit. Ghidajul cu flotor de aer utilizează pelicula de gaz stabilă formată din gaz de înaltă presiune pentru a realiza mișcarea de suspensie fără contact a părților mobile ale platformei și pentru a reduce vibrațiile minore cauzate de frecarea mecanică. Împreună, cele două asigură menținerea unei precizii de poziționare a platformei la nivel nanometric în procese cheie, cum ar fi litografia și gravarea cipurilor, evitând devierea modelelor de circuit ale cipurilor cauzată de vibrații.
Stabilitate termică excelentă
Fluctuațiile de temperatură și umiditate din atelier au o influență mare asupra preciziei echipamentelor de fabricație a așchiilor. Coeficientul de dilatare termică al granitului este foarte scăzut, în general de 5-7 ×10⁻⁶/℃, dimensiunea rămânând aproape neschimbată atunci când temperatura se schimbă. Chiar dacă diferența de temperatură dintre zi și noapte în atelier sau producția de căldură a echipamentului determină fluctuațiile temperaturii ambientale, componentele granitului pot rămâne stabile pentru a preveni deformarea platformei din cauza dilatării și contracției termice. În același timp, sistemul inteligent de control al temperaturii echipat cu platforma monitorizează temperatura ambientală în timp real, ajustează automat echipamentul de aer condiționat și disipare a căldurii și menține temperatura atelierului la 20 °C ±1 °C. Combinate cu avantajele stabilității termice a granitului, platforma asigură că, în funcționarea pe termen lung, precizia mișcării fiecărei axe îndeplinește întotdeauna standardele de precizie nanometrică de fabricație a așchiilor, pentru a asigura că dimensiunea modelului litografiei așchiilor este precisă și adâncimea de gravare este uniformă.
Satisfaceți nevoile unui mediu curat
Atelierul de producție a semiconductorilor trebuie să mențină un grad ridicat de curățenie pentru a preveni contaminarea cipului cu particule de praf. Granitul în sine nu produce praf, iar suprafața este netedă, neabsorbind ușor praful. Platforma, în ansamblu, adoptă un design structural complet închis sau semi-închis pentru a reduce pătrunderea prafului extern. Sistemul intern de circulație a aerului este conectat cu sistemul de aer condiționat curat al atelierului pentru a asigura că curățenia aerului intern atinge nivelul cerut de fabricarea cipurilor. În acest mediu curat, componentele din granit nu vor afecta performanța din cauza eroziunii prafului, iar componentele cheie, cum ar fi senzorii și motoarele de înaltă precizie ale platformei, pot funcționa stabil, oferind o garanție continuă și fiabilă a preciziei la nanoscală pentru fabricarea cipurilor și ajutând industria semiconductorilor să treacă la un nivel superior de proces.
Data publicării: 14 aprilie 2025