În lumea precisă a fabricării semiconductorilor, testarea nedistructivă a napolitanelor este o verigă cheie pentru a asigura calitatea cipurilor. Baza de granit aparent nesemnificativă este de fapt „eroul necunoscut” care determină precizia detecției. Cum afectează aceasta rezultatele testelor? Acest articol va realiza o analiză aprofundată din diverse aspecte, cum ar fi proprietățile materialelor și designul structural.
1. Fundație stabilă: Avantajele naturale ale granitului pun o bază solidă pentru precizie
1. Performanță seismică excelentă
În timpul funcționării echipamentului de testare nedistructivă a plachetelor, rotația motorului și mișcarea componentelor mecanice vor genera vibrații. Dacă aceste vibrații nu sunt suprimate eficient, ele vor interfera serios cu precizia testării. Interiorul granitului este strâns împletit cu cristale minerale precum cuarțul și feldspatul. Structura sa unică îi conferă o capacitate naturală de absorbție a vibrațiilor, capabilă să absoarbă peste 90% din energia vibrațiilor echipamentului. Datele de măsurare efective ale unui anumit producător de semiconductori arată că, după utilizarea bazei de granit, amplitudinea vibrațiilor echipamentului de detectare a fost redusă de la 12 μm la 2 μm, evitând eficient deviația semnalului de detectare cauzată de vibrații.
2. Coeficient de dilatare termică extrem de scăzut
În timpul procesului de detectare, factori precum încălzirea echipamentului și schimbările de temperatură a mediului vor afecta stabilitatea bazei mașinii. Materialele obișnuite se dilată semnificativ atunci când sunt încălzite, dar coeficientul de dilatare termică al granitului este de doar 1/5 din cel al oțelului. Chiar dacă temperatura ambiantă fluctuează cu 10℃, deformarea acestuia poate fi ignorată. Acest lucru permite bazei de granit să ofere o platformă de referință stabilă pentru echipamentul de inspecție, asigurând că poziția relativă dintre sonda de inspecție și plachetă rămâne precisă în orice moment și evitând erorile de inspecție cauzate de deformarea termică.
În al doilea rând, design precis: optimizarea structurală îmbunătățește și mai mult fiabilitatea detectării
Prelucrare de înaltă precizie și garanție a planeității
Baza din granit de înaltă calitate este prelucrată prin tehnologia avansată CNC cu cinci axe, cu o planeitate de ±0,5 μm/m, oferind o referință de instalare ultra-plană pentru echipamentele de inspecție. În inspecția plachetelor, verticalitatea și nivelarea sondei de inspecție sunt cruciale pentru rezultatele inspecției. O bază din granit de înaltă precizie poate asigura poziționarea precisă a sondei, făcând datele de inspecție mai precise și mai fiabile.
2. Adaptare structurală personalizată
Bazele mașinilor din granit pot fi personalizate pentru diferite echipamente de testare nedistructivă a plachetelor și cerințe de proces. De exemplu, pentru a îndeplini cerințele echipamentelor de inspecție optică privind reflexia luminii, suprafața bazei mașinii poate fi tratată special; Pentru a îndeplini cerințele de instalare ale echipamentelor de testare cu ultrasunete, baza poate fi prefabricată cu găuri de instalare precise și jgheaburi de cablu, permițând instalarea rapidă și precisă a echipamentului și reducând abaterile de detectare cauzate de erorile de instalare.
Iii. Stabilitate pe termen lung: Reducerea pierderilor de precizie cauzate de întreținerea echipamentelor
Granitul are o duritate ridicată și o rezistență puternică la uzură, cu o duritate Mohs de 6 până la 7, care este de trei ori mai mare decât oțelul obișnuit. În timpul operațiunilor de inspecție pe termen lung, suprafața bazei mașinii nu este predispusă la uzură și poate menține întotdeauna o stare bună de precizie. În schimb, bazele fabricate din alte materiale pot cauza modificări ale referinței de instalare a echipamentului din cauza uzurii, afectând astfel precizia detecției și necesitând calibrare și întreținere frecvente. Durata lungă de viață și stabilitatea ridicată a bazei de granit reduc eficient frecvența întreținerii echipamentelor și reduc riscul de pierdere a preciziei care poate apărea în timpul procesului de întreținere.
De la rezistența la șocuri și rezistența la căldură, până la designul precis, fiecare caracteristică a bazei de granit protejează acuratețea testării nedistructive a plachetelor. În era actuală a producției de semiconductori, care urmărește precizia maximă, alegerea unei baze de granit de înaltă calitate este ca și cum ai adăuga un strat solid de asigurare la acuratețea și fiabilitatea rezultatelor testelor.
Data publicării: 18 iunie 2025