În domeniul fabricării semiconductorilor, precizia submicronică este cheia asigurării performanței cipurilor, iar baza de granit (ZHHIMG®), cu proprietățile sale materiale, prelucrarea precisă și designul inovator, a devenit garanția principală pentru atingerea acestei precizii.
Din perspectiva proprietăților materialului, granitul negru selectat de ZHHIMG® are o densitate de aproximativ 3100 kg/m³, cu o structură internă densă. Această densitate ridicată îi conferă o stabilitate și o rigiditate remarcabile. În timpul funcționării echipamentelor semiconductoare, rotația motoarelor și mișcarea componentelor mecanice din interiorul echipamentului vor genera vibrații. Baza de granit poate absorbi eficient peste 90% din energia vibrațiilor, reducând semnificativ impactul vibrațiilor asupra preciziei echipamentului. Totodată, coeficientul său extrem de scăzut de dilatare termică îi permite să își mențină deformarea într-un interval foarte mic atunci când temperatura ambiantă fluctuează, oferind o fundație stabilă pentru echipamentele semiconductoare și prevenind deplasarea componentelor echipamentului din cauza schimbărilor de temperatură, care ar putea afecta precizia.
În ceea ce privește procesarea și fabricarea, fabrica ZHHIMG® adoptă echipamente internaționale avansate de procesare și dispune de patru mașini de rectificat de mare dimensiune (fiecare mașină costă peste 500.000 USD), care pot efectua rectificare de înaltă precizie pe granit. Prin prelucrarea CNC cu cinci axe și alte procese, planeitatea bazei mașinii poate atinge nivelul nanometric, oferind o suprafață de referință ultra-plană pentru instalarea echipamentelor semiconductoare și asigurând poziționarea precisă a fiecărei componente a echipamentului. Mai mult, atelierul cu temperatură și umiditate constante (care acoperă o suprafață de 10.000 de metri pătrați) oferă un mediu stabil pentru procesare. Șanțurile antivibrații din jurul acesteia, cu o lățime de 500 mm și o adâncime de 2000 mm, precum și macaralele silențioase, izolează eficient interferențele vibrațiilor externe și asigură precizia procesării bazei mașinii.
În plus, ZHHIMG® are și o capacitate puternică de personalizare. Pentru cerințele speciale ale echipamentelor semiconductoare, se pot prefabrica orificii de instalare precise și jgheaburi de cabluri pentru a obține o compatibilitate perfectă între echipament și bază. În același timp, în combinație cu echipamente de metrologie și testare de talie mondială, cum ar fi nivela minut germană Mahr (cu o precizie de 0,5 µm) și nivela electronică elvețiană WYLER, baza mașinii este inspectată și calibrată cu strictețe pentru a se asigura că fiecare bază poate îndeplini cerințele stricte ale echipamentelor semiconductoare pentru o precizie submicronică.
Tocmai combinarea acestor avantaje face ca baza de granit ZHHIMG® să fie o alegere fiabilă pentru obținerea unei precizii submicrice în echipamentele semiconductoare, ajutând producția de semiconductori să se îndrepte către domenii de precizie superioară.
Data publicării: 18 iunie 2025