Granitul este un material dur și durabil, adesea utilizat în industria construcțiilor. Cu toate acestea, are și proprietăți care îl fac util în fabricarea semiconductorilor, în special în fabricarea și prelucrarea circuitelor integrate. Componentele din granit, cum ar fi mesele și blocurile de granit, sunt utilizate pe scară largă pentru stabilitatea, planeitatea și coeficientul de dilatare termică scăzut.
Una dintre principalele utilizări ale componentelor din granit în fabricarea semiconductorilor este în procesul de fabricație. Napolitanele de siliciu, elementele de bază ale circuitelor integrate, trebuie fabricate cu precizie și acuratețe ridicate. Orice distorsiune sau mișcare în timpul procesului poate duce la defecte care pot afecta calitatea și funcționalitatea circuitelor integrate. Mesele de granit, cu stabilitatea și planeitatea lor ridicate, oferă o platformă bună pentru echipamentele de procesare a napolitanelor. De asemenea, sunt rezistente la dilatarea și contracția termică cauzate de încălzirea și răcirea necesare în proces.
Blocurile de granit sunt utilizate și în procesarea semiconductorilor pentru stabilitatea lor termică. În timpul proceselor de gravare sau depunere, se utilizează gaze fierbinți sau plasme pentru a modifica suprafața plachetei de siliciu. Temperatura plachetei trebuie controlată pentru a se asigura că procesul se desfășoară eficient și precis. Blocurile de granit, cu coeficientul lor de dilatare termică scăzut, ajută la stabilizarea temperaturii plachetei, reducând riscul fluctuațiilor de temperatură care ar putea afecta calitatea materialului procesat.
Pe lângă procesele de fabricație și procesare, componentele din granit sunt utilizate și în etapele de metrologie și inspecție ale fabricării semiconductorilor. Măsurătorile metrologice sunt efectuate pentru a se asigura că dimensiunea, forma și poziția structurilor de pe plachetă se încadrează în specificațiile cerute. Blocurile de granit sunt utilizate ca standarde de referință în aceste măsurători datorită stabilității și preciziei lor dimensionale. De asemenea, sunt utilizate în etapele de inspecție, unde calitatea circuitelor integrate este verificată la mărire mare.
Per total, utilizarea componentelor din granit în fabricarea semiconductorilor a crescut în ultimii ani. Nevoia de precizie, acuratețe și stabilitate ridicată în fabricarea și procesarea circuitelor integrate a determinat adoptarea acestor materiale de către producătorii de semiconductori. Proprietățile unice ale granitului, cum ar fi duritatea, stabilitatea și coeficientul de dilatare termică scăzut, îl fac o alegere excelentă pentru utilizarea în aceste procese. Odată cu dezvoltarea și îmbunătățirea continuă a tehnologiei semiconductorilor, se așteaptă ca utilizarea componentelor din granit să crească în continuare în viitor.
Data publicării: 05 dec. 2023