Granitul este un material dur și durabil, care este adesea folosit în industria construcțiilor. Cu toate acestea, are și proprietăți care o fac utilă în fabricarea semiconductorilor, în special în fabricarea și prelucrarea circuitelor integrate. Componentele de granit, cum ar fi mesele de granit și blocurile de granit, sunt utilizate pe scară largă pentru stabilitatea, planeitatea și coeficientul de expansiune termică scăzut.
Una dintre utilizările principale ale componentelor de granit în fabricarea semiconductorilor este în procesul de fabricație. Napolii de siliciu, blocurile de bază ale circuitelor integrate, trebuie să fie fabricate cu o precizie și precizie ridicată. Orice distorsiune sau mișcare în timpul procesului poate duce la defecte care pot afecta calitatea și funcționalitatea circuitelor integrate. Mesele de granit, cu stabilitate și planeitate ridicată, oferă o platformă bună pentru echipamentele de procesare a plafonului. De asemenea, sunt rezistente la expansiunea termică și contracția cauzată de încălzirea și răcirea necesară în proces.
Blocurile de granit sunt de asemenea utilizate în procesarea semiconductorului pentru stabilitatea lor termică. În timpul proceselor de gravare sau depunere, gazele fierbinți sau plasmele sunt utilizate pentru a modifica suprafața plafonului de siliciu. Temperatura plafonului trebuie controlată pentru a se asigura că procesul este efectuat eficient și precis. Blocurile de granit, cu coeficientul lor de expansiune termică scăzut, ajută la stabilizarea temperaturii plafonului, reducând riscul de fluctuații de temperatură care ar putea afecta calitatea materialului procesat.
În afară de procesele de fabricație și procesare, componentele de granit sunt, de asemenea, utilizate în etapele de metrologie și de inspecție ale fabricării semiconductorilor. Măsurătorile de metrologie sunt făcute pentru a se asigura că dimensiunea, forma și poziția structurilor de pe placă sunt în conformitate cu specificațiile necesare. Blocurile de granit sunt utilizate ca standarde de referință în aceste măsurători din cauza stabilității și preciziei lor dimensionale. De asemenea, sunt utilizate în etapele de inspecție, unde calitatea circuitelor integrate este verificată sub mărire ridicată.
În general, utilizarea componentelor de granit în fabricarea semiconductorilor a crescut în ultimii ani. Necesitatea de înaltă precizie, precizie și stabilitate în fabricarea și prelucrarea circuitelor integrate a determinat adoptarea acestor materiale de către producătorii de semiconductori. Proprietățile unice ale granitului, cum ar fi duritatea, stabilitatea și coeficientul de expansiune termică scăzut, îl fac o alegere excelentă pentru utilizare în aceste procese. Odată cu dezvoltarea continuă și îmbunătățirea tehnologiei semiconductoare, utilizarea componentelor din granit este de așteptat să crească în viitor.
Timpul post: 05-2023 DEC