În echipamentele de fabricație a semiconductorilor și optoelectronicilor, unde se aplică în principal granitul.

În echipamentele de fabricație a semiconductorilor și optoelectronicilor, granitul este utilizat în principal în componente cheie, cum ar fi platformele de mișcare de precizie, bazele șinelor de ghidare, structurile de susținere a izolației vibrațiilor și substraturile de instalare a componentelor optice. Aceste componente au cerințe extrem de ridicate pentru precizie, stabilitate și toleranță la mediu. Caracteristicile granitului pot satisface cu precizie cerințele stricte ale industriei semiconductorilor și optoelectronicilor. În continuare, se analizează scenariile specifice de aplicare și avantajele:
I. Principalele componente ale aplicației
Platforme de mișcare de precizie (cum ar fi platforme de napolitane pentru mașini de fotolitografie și mașini de lipire)
Este utilizat pentru a transporta componente de precizie, cum ar fi napolitane și lentile optice, realizând mișcări de translație și rotație cu precizie la scară nanometrică.
Echipament tipic: masa piesei de prelucrat a mașinii de fotolitografie, platformă de poziționare a echipamentului de măsurare.
Baza șinei de ghidare și structura cadrului
Ca bază de instalare pentru ghidaje liniare și ghidaje de flotație cu aer, aceasta susține mecanismul central de mișcare al echipamentului.
Echipamente tipice: cadre mecanice ale echipamentelor de ambalare a semiconductorilor și instrumente de inspecție optică.
Structură de suport și stabilizare pentru izolarea vibrațiilor
Se utilizează pentru izolarea vibrațiilor externe (cum ar fi vibrațiile din fabrică sau în timpul funcționării echipamentelor), asigurând stabilitatea sistemelor optice sau a utilajelor de precizie.
Scenarii tipice: Suport de bază pentru microscoape optice și interferometre laser.
Substrat de montare a componentelor optice
Fixați dispozitive optice precum oglinzi, prisme și lasere pentru a asigura stabilitatea pe termen lung a preciziei de aliniere a sistemului de cale optică.
Echipamente tipice: echipamente optoelectronice de ambalare, sisteme de cuplare a fibrelor optice.

granit de precizie16


Data publicării: 29 mai 2025