Materialele din granit sunt utilizate pe scară largă în industria semiconductorilor datorită caracteristicilor lor excelente, cum ar fi stabilitatea ridicată, expansiunea termică scăzută și rezistența ridicată la coroziune. Aceste proprietăți fac din granit un material ideal pentru construirea de componente de înaltă precizie într-un sistem de transfer de placă.
În procesul de fabricație a semiconductorilor, sistemul de transfer al waferului joacă un rol esențial în transportul napolitane pe diferite etape ale procesului de fabricație. Precizia și precizia sunt cerințele esențiale pentru aceste sisteme, deoarece chiar ușoare abateri ar putea pune în pericol întregul proces. Prin urmare, componentele din sistemul de transfer al waferului trebuie să fie realizate din materiale de înaltă calitate, iar granitul îndeplinește aceste criterii.
Unele părți ale sistemului de transfer de placă care sunt fabricate din materiale de granit includ:
1..
Masa de much de vid este utilizată pentru a ține placa în timpul procesului și trebuie să aibă o suprafață stabilă pentru a se asigura că placa nu este deteriorată. Granitul este un material ideal pentru realizarea acestui tabel, deoarece are o suprafață plană, non-poroasă, care oferă stabilitate și precizie ridicată. În plus, granitul are un coeficient scăzut de expansiune termică, ceea ce îl face rezistent la modificările de temperatură care ar putea provoca modificări dimensionale în placă.
2. Etapa purtătoare de aer
Etapa purtătoare de aer este utilizată pentru a transporta placa prin diferite etape ale procesului de fabricație. Etapa este concepută pentru a oferi o mișcare fără fricțiuni, care necesită o precizie și stabilitate ridicată. Granitul este utilizat în această aplicație, deoarece este o piatră rigidă și dură și rezistă deformarea și uzura în timp.
3. Ghiduri de mișcare liniară
Ghidurile liniare de mișcare sunt utilizate pentru a ghida etapa purtătoare de aer și trebuie poziționate cu exactitate pentru a minimiza erorile. Granitul este utilizat pentru a construi acest ghid, deoarece are stabilitate și rezistență mecanică excelente. Materialul este, de asemenea, rezistent la coroziune, ceea ce asigură longevitatea sistemului de ghidare.
4. Echipament de metrologie
Echipamentele de metrologie sunt utilizate pentru a măsura dimensiunile și proprietățile plafonului în timpul procesului de fabricație. Granitul este un material ideal pentru construirea acestui echipament, deoarece are o rigiditate ridicată, o expansiune scăzută și o deformare minimă sub sarcină. Mai mult decât atât, stabilitatea termică a Granitului asigură că echipamentul de metrologie rămâne stabil și precis în timp.
În concluzie, industria semiconductorilor se bazează pe precizie și precizie, iar materialele din granit s -au dovedit a fi extrem de fiabile și stabile în procesul de fabricație. Cu multe componente critice din sistemul de transfer de placă care necesită stabilitate ridicată, precizie și expansiune termică scăzută, inginerii au apelat la materiale de granit pentru a îndeplini aceste cerințe critice.
Timpul post: martie-19-2024