În ce părți ale sistemului de transfer al napolitanelor sunt utilizate materialele de granit?

Materialele de granit sunt utilizate pe scară largă în industria semiconductoarelor datorită caracteristicilor lor excelente, cum ar fi stabilitatea ridicată, dilatarea termică scăzută și rezistența ridicată la coroziune.Aceste proprietăți fac din granit un material ideal pentru construirea de componente de înaltă precizie într-un sistem de transfer de napolitane.

În procesul de fabricație a semiconductorilor, sistemul de transfer al plachetelor joacă un rol critic în transportul plachetelor în diferite etape ale procesului de fabricație.Precizia și acuratețea sunt cerințele esențiale pentru aceste sisteme, deoarece chiar și abaterile ușoare ar putea pune în pericol întregul proces.Prin urmare, componentele sistemului de transfer al napolitanelor trebuie să fie fabricate din materiale de înaltă calitate, iar granitul îndeplinește aceste criterii.

Unele părți ale sistemului de transfer de napolitane care sunt realizate din materiale de granit includ:

1. Masa cu mandrina cu vid

Masa cu mandrina cu vid este folosită pentru a ține napolitana în timpul procesului și trebuie să aibă o suprafață stabilă pentru a se asigura că napolitana nu este deteriorată.Granitul este un material ideal pentru realizarea acestei mese, deoarece are o suprafață plană, neporoasă, care oferă stabilitate și precizie ridicate.În plus, granitul are un coeficient scăzut de dilatare termică, făcându-l rezistent la schimbările de temperatură care ar putea provoca modificări dimensionale ale plachetei.

2. Etapa de rulment de aer

Etapa cu purtă de aer este utilizată pentru a transporta napolitana prin diferite etape ale procesului de fabricație.Scena este proiectată pentru a oferi o mișcare fără frecare, care necesită precizie și stabilitate ridicate.Granitul este folosit în această aplicație deoarece este o piatră rigidă și tare și rezistă la deformare și uzură în timp.

3. Ghiduri de mișcare liniară

Ghidajele de mișcare liniară sunt folosite pentru a ghida treapta cu aer și trebuie să fie poziționate cu precizie pentru a minimiza erorile.Granitul este folosit pentru a construi acest ghid deoarece are stabilitate mecanică și rezistență excelente.Materialul este, de asemenea, rezistent la coroziune, ceea ce asigură longevitatea sistemului de ghidare.

4. Echipamente de metrologie

Echipamentul de metrologie este folosit pentru a măsura dimensiunile și proprietățile napolitanei în timpul procesului de fabricație.Granitul este un material ideal pentru construirea acestui echipament, deoarece are rigiditate mare, expansiune redusă și deformare minimă sub sarcină.Mai mult, stabilitatea termică a granitului asigură că echipamentul de metrologie rămâne stabil și precis în timp.

În concluzie, industria semiconductoarelor se bazează pe precizie și acuratețe, iar materialele de granit s-au dovedit a fi foarte fiabile și stabile în procesul de fabricație.Cu multe componente critice în sistemul de transfer al plăcilor care necesită stabilitate ridicată, precizie și expansiune termică scăzută, inginerii au apelat la materiale de granit pentru a îndeplini aceste cerințe critice.