Materialele din granit sunt utilizate pe scară largă în industria semiconductorilor datorită caracteristicilor lor excelente, cum ar fi stabilitatea ridicată, dilatarea termică redusă și rezistența ridicată la coroziune. Aceste proprietăți fac din granit un material ideal pentru construirea de componente de înaltă precizie într-un sistem de transfer de napolitane.
În procesul de fabricație a semiconductorilor, sistemul de transfer al napolitanelor joacă un rol esențial în transportul napolitanelor prin diferite etape ale procesului de fabricație. Precizia și acuratețea sunt cerințele esențiale pentru aceste sisteme, deoarece chiar și mici abateri ar putea pune în pericol întregul proces. Prin urmare, componentele din sistemul de transfer al napolitanelor trebuie să fie fabricate din materiale de înaltă calitate, iar granitul îndeplinește aceste criterii.
Unele părți ale sistemului de transfer al napolitanelor care sunt fabricate din materiale de granit includ:
1. Masă cu mandrină cu vid
Masa cu mandrină cu vid este utilizată pentru susținerea plachetei în timpul procesului și trebuie să aibă o suprafață stabilă pentru a se asigura că placheta nu este deteriorată. Granitul este un material ideal pentru fabricarea acestei mese, deoarece are o suprafață plană, neporoasă, care oferă stabilitate și precizie ridicate. În plus, granitul are un coeficient scăzut de dilatare termică, ceea ce îl face rezistent la schimbările de temperatură care ar putea provoca modificări dimensionale ale plachetei.
2. Etapa cu rulment de aer
Platforma cu rulment de aer este utilizată pentru a transporta placheta prin diferite etape ale procesului de fabricație. Platforma este proiectată pentru a oferi o mișcare fără frecare, ceea ce necesită precizie și stabilitate ridicate. Granitul este utilizat în această aplicație deoarece este o piatră rigidă și dură și rezistă deformării și uzurii în timp.
3. Ghidaje de mișcare liniară
Ghidajele cu mișcare liniară sunt utilizate pentru a ghida platforma cu lagăr de aer și trebuie poziționate cu precizie pentru a minimiza erorile. Granitul este folosit pentru a construi acest ghidaj deoarece are o stabilitate mecanică și o rezistență excelente. Materialul este, de asemenea, rezistent la coroziune, ceea ce asigură longevitatea sistemului de ghidare.
4. Echipamente de metrologie
Echipamentele de metrologie sunt utilizate pentru a măsura dimensiunile și proprietățile plachetei în timpul procesului de fabricație. Granitul este un material ideal pentru construirea acestor echipamente, deoarece are o rigiditate ridicată, o dilatare redusă și o deformare minimă sub sarcină. Mai mult, stabilitatea termică a granitului asigură că echipamentul de metrologie rămâne stabil și precis în timp.
În concluzie, industria semiconductorilor se bazează pe precizie și acuratețe, iar materialele din granit s-au dovedit a fi extrem de fiabile și stabile în procesul de fabricație. Având în vedere că multe componente critice din sistemul de transfer al napolitanelor necesită stabilitate ridicată, precizie și expansiune termică redusă, inginerii au apelat la materiale din granit pentru a îndeplini aceste cerințe critice.
Data publicării: 19 martie 2024