În lanțul precis al fabricării semiconductorilor, sistemul de transfer al napolitanelor este ca „linia de salvare a liniei de producție a cipurilor”, iar stabilitatea și precizia sa determină direct rata de randament a cipurilor. Noua generație de sisteme de transfer al napolitanelor combină în mod revoluționar motoarele liniare cu bazele din granit, iar avantajele unice ale materialelor din granit sunt tocmai codul central pentru a debloca transmisia de înaltă performanță.
Bază de granit: Construirea unei „fundații solide ca piatra” pentru o transmisie stabilă
Granitul, care a suferit sute de milioane de ani de rafinare geologică, prezintă o cristalizare minerală internă densă și uniformă. Această caracteristică naturală îl face un material de bază ideal pentru sistemele de transfer de napolitane. În mediul complex al camerelor sterile pentru semiconductori, granitul, cu coeficientul său ultra-scăzut de dilatare termică (doar 5-7 ×10⁻⁶/℃), poate rezista căldurii generate în timpul funcționării echipamentelor și influenței schimbărilor de temperatură a mediului, asigurând stabilitatea dimensiunii bazei și evitând deviația traseului de transmisie cauzată de deformarea termică. Performanța sa remarcabilă de amortizare a vibrațiilor poate absorbi rapid vibrațiile mecanice generate în timpul pornirii, opririi și accelerării motoarelor liniare, precum și interferențele externe aduse de funcționarea altor echipamente din atelier, oferind o platformă stabilă cu „zero vibrații” pentru transmisia napolitanelor.
Între timp, stabilitatea chimică a granitului asigură că acesta nu corodează sau ruginește în atelierele de semiconductori, unde reactivii acizi și alcalini sunt volatili și este necesară o curățenie ridicată, evitând astfel impactul asupra preciziei transmisiei din cauza îmbătrânirii materialului sau a adsorbției poluanților. Caracteristicile suprafeței netede și dense pot reduce mai eficient aderența prafului, îndeplinind standardele stricte fără praf ale camerelor curate și eliminând riscul de contaminare a plachetelor de la rădăcină.
Efectul de „parteneriat de aur” al motoarelor liniare și granitului
Motoarele liniare, cu caracteristicile lor de absență a jocului de transmisie mecanică, accelerație mare și viteză de răspuns mare, conferă transmisiei plachetelor avantajele de „rapiditate, precizie și stabilitate”. Baza din granit oferă o platformă de susținere solidă și fiabilă pentru aceasta. Cele două lucrează împreună pentru a obține un salt în performanță. Atunci când motorul liniar acționează suportul plachetei pentru a se deplasa pe șina de bază din granit, rigiditatea și stabilitatea puternică a bazei asigură transmiterea eficientă a forței motrice a motorului, evitând pierderile de forță sau întârzierile de transmisie cauzate de deformarea bazei.
Conduse de cererea de precizie la nanoscală, motoarele liniare pot realiza un control al deplasării la nivel submicronic. Caracteristicile de procesare de înaltă precizie ale bazelor din granit (cu erori de planeitate controlate în limita a ±1 μm) se potrivesc perfect cu controlul precis al motoarelor liniare, asigurând împreună că eroarea de poziționare în timpul transmisiei plachetelor este mai mică de ±5 μm. Fie că este vorba de transferul de mare viteză între diverse echipamente de proces sau de parcarea precisă pentru predarea plachetelor, combinația dintre motoarele liniare și bazele din granit poate asigura „deviație zero și jitter zero” în transmisia plachetelor.
Verificarea practicilor industriale: Îmbunătățire dublă a eficienței și a ratei de randament
După modernizarea sistemului său de transfer de plachete, o companie globală de top în domeniul semiconductorilor a adoptat o soluție cu motor liniar + bază din granit, care a crescut eficiența transferului de plachete cu 40%, a redus rata de apariție a erorilor precum coliziunile și offset-urile în timpul procesului de transfer cu 85% și a îmbunătățit rata generală de randament a cipurilor cu 6%. În spatele acestor date se află garanția stabilității transmisiei oferită de baza din granit și efectul sinergic de mare viteză și precizie al motorului liniar, care reduce semnificativ pierderile și erorile în procesul de transmisie a plachetelor.
De la proprietățile materialelor la fabricația de precizie, de la avantajele de performanță la verificarea practică, combinația dintre motoarele liniare și bazele din granit a redefinit standardele sistemelor de transfer de napolitane. În viitor, când tehnologia semiconductorilor va avansa către procese de 3nm și 2nm, materialele din granit vor continua cu siguranță să ofere un impuls puternic dezvoltării industriei, datorită avantajelor lor de neînlocuit.
Data publicării: 14 mai 2025