În industria semiconductorilor, inspecția plachetelor este o verigă cheie pentru a asigura calitatea și performanța cipului, iar precizia și stabilitatea mesei de inspecție joacă un rol decisiv în rezultatele detectării. Baza de granit, cu caracteristicile sale unice, devine alegerea ideală pentru masa de inspecție a plachetelor semiconductoare, urmând analiza multidimensională pentru dumneavoastră.
În primul rând, dimensiunea garanției de precizie
1. Planeitate și liniaritate ultra-înaltă: Baza de granit este prelucrată prin tehnologie avansată de procesare, iar planeitatea poate atinge o precizie de ±0,001 mm/m sau chiar mai mare, iar liniaritatea este, de asemenea, excelentă. În procesul de inspecție a plachetelor, planul de înaltă precizie oferă un suport stabil pentru plachetă și asigură un contact precis între sonda echipamentului de inspecție și îmbinările de lipire de pe suprafața plachetei.
2. Coeficient de dilatare termică foarte scăzut: fabricarea semiconductorilor este sensibilă la schimbările de temperatură, iar coeficientul de dilatare termică al granitului este extrem de scăzut, de obicei aproximativ 5×10⁻⁶/℃. Când platforma de detecție funcționează, chiar dacă temperatura ambiantă fluctuează, dimensiunea bazei de granit se modifică foarte puțin. De exemplu, în atelierul cu temperaturi ridicate din timpul verii, temperatura platformei comune de detecție a bazei metalice poate determina deplasarea poziției relative a plachetei și a echipamentului de detecție, afectând precizia detecției; platforma de detecție a bazei de granit poate menține stabilitatea, poate asigura precizia poziției relative a plachetei și a echipamentului de detecție în timpul procesului de detecție și poate oferi un mediu stabil pentru o detecție de înaltă precizie.
În al doilea rând, dimensiunea stabilității
1. Structură stabilă și rezistență la vibrații: Granitul, după milioane de ani de procese geologice, are o structură internă densă și uniformă. În mediul complex al unei fabrici de semiconductori, vibrațiile generate de funcționarea echipamentelor periferice și de personalul care circulă în jur sunt atenuate eficient de baza de granit.
2. Precizie la utilizare pe termen lung: în comparație cu alte materiale, granitul are o duritate ridicată, o rezistență puternică la uzură, iar duritatea Mohs poate ajunge la 6-7. Suprafața de bază a granitului nu se uzează ușor în timpul operațiunilor frecvente de încărcare, descărcare și inspecție a napolitanelor. Conform utilizării efective a statisticilor de date, utilizarea mesei de testare cu bază de granit, funcționarea continuă după 5000 de ore, precizia de planeitate și liniaritate poate fi menținută la peste 98% din precizia inițială, reducând echipamentul din cauza uzurii bazei cauzate de calibrările și întreținerea regulată, reducând costurile de operare ale afacerii și asigurând stabilitatea pe termen lung a lucrărilor de testare.
A treia dimensiune, curată și anti-interferențe
1. Generare redusă de praf: mediul de fabricație a semiconductorilor trebuie să fie extrem de curat, iar materialul granit în sine este stabil și nu produce ușor particule de praf. În timpul funcționării platformei de testare, se evită poluarea napolitanei cu praf generat de bază, reducând astfel riscul de scurtcircuit și circuit deschis cauzat de particulele de praf. În zona de inspecție a napolitanei din atelierul fără praf, concentrația de praf din jurul mesei de inspecție a bazei de granit este întotdeauna controlată la un nivel extrem de scăzut, îndeplinind cerințele stricte de curățenie ale industriei semiconductorilor.
2. Fără interferențe magnetice: echipamentul de detectare este sensibil la mediul electromagnetic, iar granitul este un material nemagnetic, care nu va interfera cu semnalul electronic al echipamentului de detectare. În utilizarea detecției cu fascicul de electroni și a altor tehnologii de testare care necesită un mediu electromagnetic extrem de ridicat, baza de granit asigură transmiterea stabilă a semnalului electronic al echipamentului de detectare și asigură acuratețea rezultatelor testelor. De exemplu, atunci când placheta este testată pentru performanțe electrice de înaltă precizie, baza de granit nemagnetică evită interferențele cu semnalele de curent și tensiune de detectare, astfel încât datele de detectare reflectă cu adevărat caracteristicile electrice ale plachetei.
Data publicării: 31 martie 2025