Fabricarea semiconductorilor: În procesul de fabricație a cipurilor, procesul de fotolitografie trebuie să transfere cu precizie modelul circuitului către plachetă. Baza de granit a modulului de mișcare ultra-precizie cu flotare pe o singură axă poate oferi o poziționare de înaltă precizie și un suport stabil pentru masa plachetei în echipamentul de litografie. De exemplu, ASML și alți producători de mașini de litografie de renume internațional utilizează module de mișcare cu flotare pe bază de granit în echipamentele lor de ultimă generație, care pot controla precizia de poziționare a plachetei la nivel nanometric pentru a asigura acuratețea modelului litografic, îmbunătățind astfel integrarea și performanța cipului.
Domeniul măsurătorilor de precizie: CMM este un echipament de măsurare de precizie utilizat în mod obișnuit în producția industrială, care este utilizat pentru a măsura dimensiunea, forma și precizia poziției piesei de prelucrat. Modulul de mișcare ultra-precizie al plutitorului de aer pe o singură axă pe baza de granit poate fi utilizat ca platformă de mișcare a CMM, care poate realiza o mișcare liniară de înaltă precizie și poate oferi o traiectorie de mișcare stabilă pentru sonda de măsurare. De exemplu, CMM-ul de înaltă performanță de la Hexagon folosește această combinație pentru a măsura piese mari și complexe cu o precizie de măsurare de până la nivel micronic, oferind o garanție solidă pentru controlul calității pieselor în industria auto, aerospațială și alte industrii.
Domeniul aerospațial: În prelucrarea și testarea pieselor aerospațiale este necesară o precizie ridicată. De exemplu, prelucrarea palelor motoarelor de aeronave necesită un control precis al traiectoriei de mișcare a sculei pentru a asigura acuratețea profilului palei. Baza de granit a modulului de mișcare ultra-precizie cu flotație cu aer pe o singură axă poate fi aplicată pe centrul de prelucrare cu cinci axe și pe alte echipamente pentru a oferi un control de mișcare de înaltă precizie pentru sculă și pentru a asigura că precizia de prelucrare a palei poate îndeplini cerințele de proiectare. În același timp, în procesul de asamblare a motorului de aviație, este necesar să se utilizeze și echipamente de măsurare de înaltă precizie pentru a detecta acuratețea asamblării pieselor. Modulul de mișcare cu flotație cu aer al bazei de granit poate oferi un suport stabil și o mișcare precisă pentru echipamentul de măsurare, pentru a asigura calitatea asamblării.
Domeniul inspecției optice: În procesul de fabricație și testare a componentelor optice, este necesar să se efectueze poziționarea și măsurarea de înaltă precizie a componentelor optice. De exemplu, la fabricarea componentelor optice de înaltă precizie, cum ar fi oglinzile și lentilele, este necesar să se utilizeze interferometre și alte echipamente pentru a detecta acuratețea formei suprafeței. Baza de granit a modulului de mișcare ultra-precizie cu plutire pe o singură axă poate fi utilizată ca platformă de mișcare a interferometrului, care poate realiza o precizie de poziționare submicronică și poate oferi suport de date precis pentru detectarea componentelor optice. În plus, în echipamentele de procesare cu laser, este necesar să se utilizeze și o platformă de mișcare de înaltă precizie pentru a controla traiectoria de scanare a fasciculului laser, baza de granit a modulului de mișcare cu plutire pe aer putând îndeplini această cerință, pentru a obține o procesare cu laser de înaltă precizie.
Data publicării: 07 aprilie 2025