„Scutul invizibil” al platformei de mișcare plutitoare hidrostatică de precizie: cerințele stricte de mediu ale bazei de precizie din granit.

În domeniile producției de înaltă calitate și al cercetării științifice de ultimă generație, platforma de mișcare plutitoare cu presiune statică de precizie este echipamentul cheie pentru a obține o funcționare de ultra-precizie. Baza de precizie din granit este piesa principală de susținere a platformei, iar performanța sa este strâns legată de mediul de lucru. Înțelegerea și îndeplinirea acestor cerințe de mediu nu numai că poate asigura funcționarea de înaltă precizie a platformei, ci și o parte importantă a întreprinderii pentru a-i spori competitivitatea în domeniile conexe, aspect descris în detaliu mai jos.

zhhimg iso
1. Temperatură: control precis pentru a asigura stabilitatea dimensională
Deși granitul este cunoscut pentru stabilitatea sa, coeficientul său de dilatare termică nu este zero, iar micile schimbări de temperatură pot afecta totuși precizia sa dimensională. În general, coeficientul de dilatare termică al granitului este de 5-7 ×10⁻⁶/℃. În scenariul de aplicare al platformei de mișcare plutitoare cu presiune statică de precizie, această mică schimbare este amplificată de platformă, ceea ce poate duce la o abatere a preciziei de mișcare. De exemplu, în procesul de fabricație a cipurilor semiconductoare, procesul de litografie pentru cerințele de precizie de poziționare a nivelului danami, fluctuația temperaturii ambiante de 1°C, lungimea laturii unei baze de granit de 1 metru poate produce o dilatare sau contracție liniară de 5-7 microni, ceea ce este suficient pentru a face ca modelul litografiei cipului să devieze, reducând randamentul. Prin urmare, platforma plutitoare cu presiune statică de precizie echipată cu o bază de granit de precizie, temperatura ideală a mediului de lucru trebuie controlată strict la 20°C ±1°C. Întreprinderile pot instala un sistem de aer condiționat de înaltă precizie cu temperatură constantă, pot monitoriza continuu și regla cu precizie temperatura ambiantă, mențin stabilitatea dimensiunii bazei de granit, pentru a asigura funcționarea de înaltă precizie a platformei.
2. umiditate: control rezonabil, protejează performanța de bază
Umiditatea are, de asemenea, un efect semnificativ asupra bazelor de granit de precizie. Într-un mediu cu umiditate ridicată, granitul absoarbe ușor vaporii de apă și poate exista condens pe suprafață, ceea ce nu numai că va interfera cu funcționarea normală a sistemului de flotație cu aer, dar va duce și la eroziunea pe termen lung a suprafeței granitului, reducând precizia și durata de viață a acestuia. Luând ca exemplu atelierul de șlefuire a lentilelor optice, dacă umiditatea este mai mare de 60% RH pentru o perioadă lungă de timp, vaporii de apă adsorbiți pe suprafața bazei de granit vor distruge uniformitatea peliculei de flotație cu aer, rezultând o scădere a preciziei șlefuirii lentilei și defecte de suprafață. Prin urmare, umiditatea relativă a mediului de lucru trebuie controlată între 40%-60% RH. Întreprinderile pot utiliza dezumidificatoare, senzori de umiditate și alte echipamente pentru a monitoriza și controla umiditatea în timp real, pentru a crea un mediu de umiditate adecvat pentru baza de granit de precizie și pentru a asigura funcționarea stabilă a platformei de mișcare flotantă cu aer sub presiune statică de precizie.

granit de precizie26
3. curățenie: control strict, eliminarea interferențelor cu particule
Particulele de praf sunt „inamicul” platformei de mișcare plutitoare cu presiune statică de precizie și provoacă daune mari bazei de granit de precizie. Odată ce particulele minuscule intră în spațiul peliculei de gaz dintre glisorul plutitorului de gaz și baza de granit, acestea pot distruge uniformitatea peliculei de gaz, pot crește frecarea și chiar pot zgâria suprafața bazei, afectând serios precizia mișcării platformei. În atelierul de prelucrare ultra-precizie a pieselor aerospațiale, dacă particulele de praf din aer cad pe baza de granit, traiectoria mișcării sculei de prelucrare poate fi deviată, afectând precizia de prelucrare a pieselor. Prin urmare, zona de lucru trebuie menținută foarte curată și să atingă un standard de curățenie de 10.000 sau chiar mai mare. Întreprinderile pot filtra particulele de praf din aer prin instalarea de filtre de aer de înaltă eficiență (HEPA) și pot solicita personalului să poarte îmbrăcăminte anti-praf, huse pentru încălțăminte etc., pentru a reduce praful adus de oameni și a menține mediul de operare de înaltă precizie al bazei de granit și al platformei de mișcare plutitoare cu presiune statică de precizie.
4. Vibrații: Izolare eficientă pentru a crea un spațiu uniform
Vibrațiile externe vor interfera serios cu precizia platformei plutitoare cu presiune statică și aer de precizie. Deși baza de granit de precizie are o anumită capacitate de atenuare a vibrațiilor, vibrațiile de înaltă rezistență pot totuși să depășească limita de amortizare. Vibrațiile generate de traficul din jurul fabricii și de funcționarea echipamentelor mecanice mari sunt transmise bazei de granit prin sol, ceea ce va interfera cu precizia mișcării platformei. În CMM-urile de înaltă performanță, vibrațiile pot cauza instabilitatea contactului dintre sonda de măsurare și piesa de prelucrat care urmează să fie măsurată, rezultând o deviere a datelor măsurate. Pentru a rezolva această problemă, este necesar să se adopte măsuri eficiente de izolare a vibrațiilor, cum ar fi amplasarea de plăcuțe de izolare a vibrațiilor în zona de instalare a echipamentului, construirea unei fundații de izolare a vibrațiilor sau utilizarea unui sistem activ de izolare a vibrațiilor pentru a compensa activ vibrațiile externe și a crea un mediu de lucru liniștit și stabil pentru baza de granit de precizie și platforma de mișcare plutitoare cu presiune statică și aer de precizie.
Îndeplinirea cerințelor de mediu menționate mai sus permite valorificarea deplină a avantajelor bazei de precizie din granit în platforma de mișcare plutitoare cu presiune statică de precizie, pentru a asigura că platforma oferă servicii de control al mișcării de înaltă precizie și stabilitate pentru diverse industrii. Dacă întreprinderile pot acorda atenție acestor detalii în mediul de producție, vor profita de oportunități în fabricația de precizie, cercetarea științifică și alte domenii, își vor spori competitivitatea și vor realiza o dezvoltare durabilă.

granit de precizie22


Data publicării: 10 aprilie 2025