Ce este utilizat un granit în echipamentele de prelucrare a waferului?

Granitul este un material popular în industria de prelucrare a wafer -ului datorită proprietăților sale mecanice excepționale și durabilității sale. Este o piatră naturală care este extrasă din cariere din întreaga lume și a fost folosită de secole pentru diverse scopuri de construcție, inclusiv fabricarea de echipamente cu semiconductor. În acest articol, vom discuta despre proprietățile granitului și diferitele sale aplicații în echipamentele de procesare a plafonului.

Proprietățile granitului

Granitul este o rocă igienă care este compusă din mica, feldspat și cuarț. Este cunoscut pentru puterea sa excepțională, duritatea și durabilitatea sa, ceea ce îl face un material ideal pentru aplicațiile care necesită o precizie și o precizie ridicată. Granitul are un coeficient scăzut de expansiune termică, ceea ce înseamnă că nu se extinde sau nu se contractă din cauza schimbărilor de temperatură, ceea ce îl face extrem de stabil. În plus, granitul este rezistent la coroziune și substanțe chimice, ceea ce îl face un material ideal pentru utilizare în medii dure.

Aplicații de granit în echipamente de procesare a plafonilor

Granitul este un material utilizat pe scară largă în industria de prelucrare a plafonilor, datorită combinației sale unice de proprietăți. Următoarele sunt câteva dintre aplicațiile de granit în echipamentele de procesare a plafonilor:

1. Instrumente de metrologie

Granitul este utilizat în mod obișnuit în fabricarea instrumentelor de metrologie, cum ar fi mașinile de măsurare a coordonatelor (CMM) și sistemele de măsurare optică. Aceste instrumente necesită suprafețe stabile care pot rezista vibrațiilor și căldurii. Rigiditatea ridicată și expansiunea termică scăzută a granitului îl fac un material ideal pentru astfel de aplicații.

2. Chucks Wafer

Chuck -urile de wafer sunt utilizate pentru a ține napolitane în timpul procesului de fabricație. Aceste mușcături necesită o suprafață plană și stabilă pentru a împiedica deformarea sau îndoirea plafonului. Granitul oferă o suprafață plană extrem de stabilă și rezistentă la deformare, ceea ce îl face un material excelent pentru mușcăturile de wafer.

3. Instrumente de lustruire mecanică chimică (CMP)

Instrumentele CMP sunt utilizate pentru a lustrui napolitane în timpul procesului de fabricație. Aceste instrumente necesită o platformă stabilă care să poată rezista vibrațiilor și căldurii. Rigiditatea excelentă și expansiunea termică scăzută a granitului îl fac un material ideal pentru instrumentele CMP.

4. Echipament de inspecție a plafonului

Echipamentele de inspecție a plafonului sunt utilizate pentru a inspecta napolitane pentru defecte și defecte. Aceste instrumente necesită o suprafață stabilă și plană pentru a asigura măsurători precise. Granitul oferă o suprafață stabilă și plană rezistentă la deformare, ceea ce îl face un material ideal pentru echipamentele de inspecție a plafonului.

Concluzie

În concluzie, granitul este un material utilizat pe scară largă în industria de prelucrare a wafer -ului datorită proprietăților și durabilității sale mecanice excepționale. Este utilizat în mod obișnuit în fabricarea de instrumente de metrologie, muchii de wafer, instrumente CMP și echipamente de inspecție a waferului. Combinația unică de proprietăți îl face un material ideal pentru aplicațiile care necesită o precizie și o precizie ridicată. Cu numeroasele sale avantaje, granitul rămâne o alegere populară pentru echipamentele de prelucrare a wafer -ului, iar utilizarea sa este probabil să continue să crească în viitor.

Granit de precizie37


Timpul post: 27-2023 decembrie