Sistemele de rulmenți cu aer din granit sunt utilizate pe scară largă înultra-precizieplatforme de mișcare pentru fabricarea semiconductorilor, aliniere optică și metrologie la scară nanometrică.
Aceste sisteme elimină contactul mecanic prin utilizarea unei pelicule subțiri de aer sub presiune, realizând o mișcare de frecare aproape zero.
Principiul rulmentului de aer
Lagărele de aer funcționează prin introducerea de aer comprimat între două suprafețe, formând o peliculă de aer de 2-20 μm.
Aceasta elimină:
- Frecare mecanică
- Purta
- Comportament de alunecare adezivă
Sistemul se bazează pe dinamica peliculei fluide și pe fluxul laminar stabil.
Rolul granitului
Granitul oferă:
- Stabilitate structurală
- Suprimarea derivei termice
- Amortizarea vibrațiilor
Servește ca bază de referință mecanică pentru sistemul de mișcare.
Componente ale sistemului
- Bază de granit
- Plăcuțe de rulment cu aer
- Sistem de alimentare cu aer
- Encodere de precizie
- Sistem de control al mișcării
Caracteristici de performanță
Performanța tipică include:
- Precizie de poziționare submicronică
- Liniaritate ridicată pe curse lungi
- Zero joc mecanic
Sursele cheie de eroare includ instabilitatea presiunii aerului, deriva termică și eroarea encoderului.
Aplicații
- Inspecția plachetelor semiconductoare
- Sisteme de litografie
- Platforme de aliniere optică
- Mașini de metrologie de înaltă calitate
FAQ
Se uzează rulmenții de aer?
Niciun contact mecanic nu elimină uzura.
De ce să folosiți granitul?
Pentru stabilitate și amortizare a vibrațiilor.
Ce limitează precizia?
Stabilitatea aerului și efectele termice.
Pot transporta sarcini grele?
Da, în funcție de design.
Data publicării: 03 iulie 2026